RIX半導體行業用旋轉接頭 晶圓研磨 MFC系列/間隙密封型MFC型

RIX半導體行業用旋轉接頭 晶圓研磨 MFC系列/間隙密封型MFC型

規格：

適用流體：空氣 、真空
最大壓力：-0.095～0.6MPa
最大通路數：2
最大轉速：6000min-1
主要途徑與其特點：

精磨、粗磨等各種裝置的真空夾緊時使用。
采用特殊的密封構造、不需要外部注水也能高速旋轉。
還有、低扭矩、低密封磨損和顆粒物產生、具備安定密封特性。
應用端設備對象：精磨/粗磨、晶圓清洗裝置、高速旋轉托盤、感光顯像一體機

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