IWAKI易威奇 半導(dǎo)體氣動泵 光刻膠分配泵PDS-105R

IWAKI易威奇 半導(dǎo)體氣動泵 光刻膠分配泵PDS-105R

產(chǎn)品特點：

大幅度的省抗蝕劑
由于驅(qū)動源使用的是高扭矩步進馬達，因此即使由于過濾器的堵塞和粘度變化導(dǎo)致排出負荷增加，

排出量也幾乎不會減少，維持高的排出量精度

噴出精度：±0.3%（F.S.）
直線性：±0.5%（F.S.）
分辨率：0.01mL
無污染
泵部采用了內(nèi)表面平滑、死區(qū)體積小的管板結(jié)構(gòu)。幾乎沒有抗蝕劑液的滯留部，可以防止粒子的產(chǎn)生
支持多種涂層工藝
由于可以在1個鏡頭內(nèi)任意改變噴出速度，所以可以對應(yīng)微量、短時間涂布等多種抗蝕劑涂布工藝
縮短停機時間

廣泛應(yīng)用于化工、石化、環(huán)保、電鍍、印刷電路板、造紙、半導(dǎo)體、食品加工及醫(yī)療、制藥等行業(yè)。

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新能源動力電池： 日本旭精工、熊谷理機